Livro - Introdução às Microtecnologias no Silício

A microeletrônica (com destaque para a tecnologia CMOS) e a micromaquinagem, novas tecnologias de base, são um fator de competitividade e de renovação tecnológica em quase todos os setores industriais.

Esta obra pretende transmitir métodos, técnicas e ações de micro-engenharia, através da Física dos semicondutores com ênfase no silício, da microeletrônica com destaque para o processo em tecnologia CMOS e das técnicas de micromaquinagem do silício para a criação de microssensores e microatuadores, com destaque para as aplicações biomédicas.

Destinado a servir de texto didático para cursos do ensino superior e como texto de base de consulta para profissionais da área dos semicondutores e dos dispositivos biomédicos, contendo um capítulo exclusivo para essas aplicações.

As micro/nano tecnologias estão crescendo exponencialmente, e a atual tendência nos grandes mercados é estimular a investigação e o desenvolvimento nas áreas das micro/nano tecnologias e dos micro/nano sistemas no silício, pois essas tecnologias formam a base de uma nova geração de produtos, novas técnicas de produção e novas oportunidades de negócio.